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Descripción del Producto
La serie PC100 de Brooks Instrument está compuesta por controladores de presión de ultra alta pureza diseñados para aplicaciones en la industria de semiconductores y procesos MOCVD. Estos equipos permiten el control preciso de presión en aplicaciones como regulación electrónica de presión, control de presión de cabezal de burbujeadores, control de gases de lastre, balance de presiones y líneas de dilución.
La serie incorpora una construcción sellada metálicamente, resistente a la corrosión, y en determinadas configuraciones puede integrar medición de caudal mediante sensor térmico.
Características principales
Camino de flujo metálico de alta pureza y resistente a la corrosión.
Respuesta rápida para mejorar la estabilidad del control de presión.
Configuración para control de presión aguas arriba o aguas abajo.
Comunicación mediante señales analógicas, RS485 y DeviceNet.
Pantalla LCD integrada de alta visibilidad para monitoreo local.
Opción de monitoreo de caudal con sensor térmico de alta estabilidad.
Función programable de arranque con rampas de presión controladas.
Diagnóstico y evaluación en línea para reducción de tiempos de parada.
Función de autoajuste de cero mediante botón dedicado.
Rangos de caudal desde 3 sccm hasta 10 slm equivalentes de nitrógeno.
Modelos disponibles
PC115XD
Control de presión aguas abajo.
Sin medición integrada de caudal.
PC125XD
Control de presión aguas abajo.
Incorpora sensor térmico para monitoreo de caudal.
PC115XU
Control de presión aguas arriba.
Sin medición integrada de caudal.
Rendimiento de presión
Rango de presión
Transductor de presión de escala completa: 1000 Torr.
Límite de sobrepresión del transductor: 2000 Torr.
Exactitud de medición de presión
±1 % de la lectura.
Coeficientes térmicos
Cero: ±0,02 % de escala completa por °C.
Span: ±0,04 % de la lectura por °C.
Control de presión
Rango de control: 2 % a 100 % de escala completa.
Exactitud:
Menor al 10 % de escala completa: ±0,2 % de escala completa.
Entre 10 % y 100 % de escala completa: ±1 % de escala completa.
Tiempo de respuesta típico inferior a 1 segundo, sin considerar la constante de tiempo del sistema.
Medición de caudal (PC125XD)
El modelo PC125XD incorpora un sensor térmico de flujo capaz de monitorear el caudal de gas.
Rango de medición
2 % a 100 % de escala completa.
Exactitud
Superior al 35 % de escala completa: ±1 % de la lectura.
Entre 2 % y 35 % de escala completa: ±0,35 % de escala completa.
Otras prestaciones
Repetibilidad: ±0,2 % de escala completa.
Coeficiente térmico del cero: menor a 0,05 % de escala completa por °C.
Coeficiente térmico del span: menor a 0,08 % de la lectura por °C.
Estabilidad del cero: menor a 0,5 % por año.
Condiciones operativas
Temperatura de operación: 10 °C a 50 °C.
Diferencial de presión máximo:
45 psid para algunas configuraciones.
150 Torr mínimo para otras configuraciones.
Fuga externa:
Menor a 1 × 10⁻¹⁰ atm·cc/s de helio.
Fuga interna de válvula:
Menor al 1 % de escala completa.
Sistema de diagnóstico y visualización
Los equipos incorporan:
Indicadores de salud del instrumento.
Estado de red y comunicaciones.
Pantalla LCD giratoria integrada.
Visualización de:
Caudal.
Temperatura.
Presión.
Porcentaje de escala.
La distancia de visualización especificada es de aproximadamente 3 metros.
Comunicaciones y conexiones
Protocolos soportados
Señales analógicas de 0-5 V.
RS485.
DeviceNet.
Conexiones eléctricas
Conector D-sub de 9 pines para versiones analógicas y RS485.
Conector M12 de 5 pines para DeviceNet.
Puerto de servicio RS485 mediante jack de 2,5 mm.
Alimentación
DeviceNet:
11 a 25 Vcc.
RS485/Analógico:
±15 Vcc o 24 Vcc.
Consumo máximo:
6 W en versiones analógicas y RS485.
Construcción mecánica
Tipo de válvula
Normalmente cerrada.
Materiales en contacto con el proceso
Acero inoxidable 316L VIM/VAR.
Acero inoxidable 304.
Hastelloy C-22.
Acabado superficial
Rugosidad de 5 micro-inch Ra (0,1 μm Ra).
El diseño cumple con los requisitos SEMI F20 para aplicaciones de alta pureza.
Opciones de conexión al proceso
La serie admite distintos tipos de conexiones:
VCR macho de 1/4″.
C-Seal.
W-Seal.
C-Seal con sistema Poka-Yoke.
Estas configuraciones permiten adaptar el controlador a distintos sistemas de distribución de gases en procesos semiconductor y MOCVD.
Interfaces y adaptadores
La familia PC100 dispone de múltiples opciones de interfaz para facilitar el reemplazo de generaciones anteriores de controladores de presión.
Entre las configuraciones disponibles se incluyen:
Conectores D-sub de 9 y 15 pines.
Interfaces RS485.
DeviceNet.
Adaptadores para distintas configuraciones OEM.
Interfaces compatibles con equipos de otros fabricantes mediante cables adaptadores específicos.
Cumplimiento normativo
Los equipos cumplen con requisitos de:
Compatibilidad electromagnética (EMC).
Directivas CE aplicables.
RoHS.
REACH.
También existen versiones compatibles con EtherCAT según las normas de compatibilidad electromagnética correspondientes.
Configuración de modelos
El sistema de codificación permite definir:
Modelo de controlador.
Tipo de control (aguas arriba o aguas abajo).
Gas de calibración.
Rango de caudal.
Escala de presión.
Tipo de conexión mecánica.
Tipo de comunicación.
Configuración de firmware.
Requisitos especiales del cliente.
Esto permite una personalización amplia para adaptarse a distintas aplicaciones de control de presión y monitoreo de caudal en sistemas de gases de alta pureza.
