Medidor de Vacío capacitivo con calefaccion serie XacTorr

La serie XacTorr® CMX es una familia de manómetros capacitivos digitales (Capacitance Diaphragm Gauges – CDG) para medición de vacío de proceso. Utiliza un sensor capacitativo con arquitectura digital, compensación térmica y ajuste automático de cero para mejorar estabilidad, repetibilidad y resistencia a la contaminación del sensor.

Características principales

• Sensor patentado Mark IV.
• Arquitectura completamente digital.
• Calibración digital multidecada.
• Ajuste inteligente de cero (Intelli-Touch Zero Adjustment).
• Control de temperatura de doble zona.
• Salida analógica y comunicaciones digitales.
• Modelos calentados y no calentados.
• Función de ajuste de cero local y remoto.

Versiones disponibles

Rangos de presión (Full Scale)

Disponibles en:

• 0,1 Torr
• 0,2 Torr
• 0,5 Torr
• 1 Torr
• 2 Torr
• 5 Torr
• 7,5 Torr
• 10 Torr
• 20 Torr
• 50 Torr
• 100 Torr
• 200 Torr
• 300 Torr
• 500 Torr
• 1000 Torr

También disponibles equivalentes en Pascal.

Exactitud

La especificación incluye histéresis, linealidad y repetibilidad dentro del rango calibrado.

Tiempo de respuesta

• Presión: 40 ms.

Estabilidad térmica

Coeficiente térmico de cero

• CMX45 / CMX100 / CMX160:
  • 0,002 % F.S./°C.

Coeficiente térmico de span

• 0,02 % de la lectura por °C.

Tiempo de calentamiento

• 2 horas.
• 4 horas para escalas completas ≤ 1 Torr.

Temperatura ambiente permitida

CMX0 (sin calefacción)

• 0 °C a 50 °C.

CMX45

• 15 °C a 35 °C.

CMX100

• 15 °C a 45 °C.

CMX160

• 15 °C a 35 °C.

Materiales en contacto con el proceso

• Inconel®.
• Acero inoxidable AISI 316L.

Protección contra sobrepresión

• 17 psia.
• O bien 125 % del fondo de escala, el valor que resulte mayor.

Comunicaciones y señales

Salida analógica

• 0 a 10 Vdc.
• Carga mínima: 5 kΩ.

Interfaces digitales

• DeviceNet.
• RS-485 (diagnóstico).

Funciones digitales

• Lectura de presión.
• Ajuste de cero.
• Restauración de parámetros de fábrica.
• Consulta de horas de funcionamiento.
• Cambio de dirección del dispositivo.
• Configuración de velocidad de comunicación.

Alimentación eléctrica

Modelos sin calefacción

• ±15 %.
• 200 mA.

Modelos 45 °C

• +24 Vdc ±10 % a 400 mA.
• ±15 Vdc a 300 mA.

Modelos 100 °C

• +24 Vdc ±10 % a 900 mA.
• ±15 Vdc a 650 mA.

Modelos 160 °C

• +24 Vdc ±10 % a 1 A.
• ±15 Vdc a 1 A.

Opciones de conectividad

Conectores analógicos

• D-Sub macho de 9 pines.
• D-Sub macho de 15 pines.

Puerto diagnóstico

• RS-485 mediante jack de 2,5 mm.

DeviceNet

• Conector Eurofast de 5 pines.

Relés

Las versiones con conector D-Sub de 15 pines pueden incorporar:

• Hasta 2 relés de proceso.
• Relé de control de temperatura.
• Relé indicador de sobretemperatura.

Especificaciones DeviceNet

Velocidades de comunicación

Red

• Hasta 64 nodos.
• Topología troncal con derivaciones (trunkline/dropline).

Indicadores

• LED de estado de red.
• LED de estado del módulo.

Configuración

• Selección de velocidad mediante switch.
• Dirección MAC configurable de 00 a 63.

Conexiones de proceso disponibles

• Tubo stub 0,5″ OD.
• KF10.
• KF16.
• KF25.
• VCR hembra 1/2″ (8 VCR).
• VCR hembra 1/4″ (4 VCR).
• Mini CF.

Montaje y calibración

Opciones de calibración:

• Horizontal.
• Vertical.

Cumplimiento normativo

• EMC Directive 2014/30/EU.
• EN 61326-1:2013.
• RoHS 2011/65/EU.
• RoHS 2015/863/EU.
• REACH EC 1907/2006.

Aplicaciones típicas

• Medición de vacío de proceso.
• Sistemas de semiconductores.
• Equipos de deposición y grabado.
• Procesos de vacío industrial.
• Monitoreo de cámaras de vacío.
• Sistemas que requieren alta estabilidad y precisión de medición.