Medidor de Vacío capacitivo sin calefaccion serie CMC

La serie CMC (Compact Capacitance Manometers) de Brooks Instrument es una familia de manómetros capacitivos para medición de vacío absoluto, diseñada para aplicaciones de procesos de película delgada y ambientes agresivos. Se caracteriza por su construcción soldada integralmente, tamaño compacto y medición independiente de la composición del gas.

Características generales

• Manómetro capacitivo para medición de presión absoluta.
• Aproximadamente 40% más compacto que los manómetros capacitivos convencionales no calefaccionados.
• Medición independiente del tipo de gas.
• Construcción completamente soldada.
• Superficies mojadas de Inconel.
• Compensación térmica integrada.
• Diseñado para aplicaciones de vacío de proceso y entornos corrosivos.

Rangos de medición (Full Scale)

Disponibles en:

• 10 Torr
• 20 Torr
• 50 Torr
• 100 Torr
• 500 Torr
• 1000 Torr

También existen versiones equivalentes en:

• mbar
• kPa

Exactitud

Dos niveles disponibles:

La especificación incluye:

• Histéresis.
• Linealidad.
• No repetibilidad.

Resolución

• Teóricamente infinita.
• Limitada únicamente por el ruido de salida.
• Ruido máximo:
  • ≤ 0,0006 % del fondo de escala.

Tiempo de respuesta

• 20 ms.

Estabilidad térmica

Efecto de temperatura sobre el cero

• 0,005 % del fondo de escala por °C.

Efecto de temperatura sobre el span

• 0,027 % de la lectura por °C.

Temperatura

Rango operativo

• 0 a 80 °C.

Rango compensado

• 0 a 50 °C.

Materiales de construcción

Materiales expuestos al proceso

• Inconel®.

En configuraciones con determinadas conexiones de proceso pueden incorporarse elementos de acero inoxidable.

Protección contra sobrepresión

• 45 psia.

Señales eléctricas

Alimentación

• 12 a 30 Vdc.

Señal de salida

• 0 a 10 Vdc.

Carga mínima recomendada

• Menor a 10 kΩ.

Consumo eléctrico

• Menor a 200 mW.

Opciones de conexión eléctrica

• D-Sub de 9 pines.
• Bornera de 5 terminales.
• D-Sub de 15 pines con cable de 6″.

Peso

• 137 g (0,3 lb).

Conexiones de proceso disponibles

Dimensiones según conexión

Certificaciones y cumplimiento

Compatibilidad electromagnética

• Certificación CE.
• EMC Directive 89/336/EEC.

Ambiental

• Cumplimiento RoHS.

Aplicaciones típicas

• Procesos de película delgada (Thin Film).
• Equipos de vacío industrial.
• Procesos químicos agresivos.
• Instrumentación de vacío para semiconductores.
• Sistemas que requieren medición absoluta de presión con alta estabilidad térmica.
• Reemplazo de manómetros capacitivos convencionales en espacios reducidos.