Traductor de vacio serie VersaTorr BVT200

La serie VersaTorr® BVT200/BVT225 es una familia de transductores de vacío de amplio rango que combina tres tecnologías de medición en un único instrumento: MEMS Pirani, manómetro capacitivo (CDG) y sensor piezorresistivo MEMS. Está diseñada para aplicaciones donde se requiere medición precisa desde alto vacío hasta presión atmosférica, incluyendo procesos con cambios en la composición del gas.

Características principales

• Rango total de medición de 9 décadas.
• Medición independiente del gas en un rango de 6 décadas.
• Integración de tecnologías:
  • MEMS Pirani.
  • Capacitance Diaphragm Gauge (CDG).
  • MEMS Piezo.
• Ajuste automático de cero del sensor capacitivo.
• Salida analógica programable de 0-10 Vdc.
• Comunicación digital RS-232 o RS-485.
• Sensor de temperatura integrado.
• Indicador visual RGB LED de presión.
• Hasta 3 relés electrónicos programables.

Modelos

BVT200

• Transductor Tri-Sensor.

BVT225

• Transductor Tri-Sensor con barómetro integrado.

Rango de medición

• 1 × 10⁻⁶ a 1333 mbar
• 7,5 × 10⁻⁷ a 1000 Torr

Principios de medición según rango

Exactitud

Funciones barométricas (BVT225)

Rango barométrico

• 300 a 1200 mbar.

Exactitud barométrica

• ±0,5 mbar.

Salida referida a presión atmosférica

• −1333 a +1333 mbar.

Sensores de temperatura

Temperatura de vacío

• Rango: −20 a +85 °C.
• Exactitud: ±1,5 °C.

Temperatura del transductor

• Rango: −20 a +85 °C.
• Exactitud: ±1,5 °C.

Tiempo de respuesta

• Menor a 20 ms.

Compensación térmica

• +10 a +50 °C.

Salida analógica

Resolución

• 16 bits.
• 150 µV.

Frecuencia de actualización

• 124 Hz.

Escalado disponible

Versiones configurables para:

• 0,5 a 9,5 Vdc (1 V/década).
• 1 a 9 Vdc.
• 0,375 a 5,659 Vdc.
• 0 a 10 Vdc en diversas escalas de manómetro capacitivo.
• Emulación de múltiples instrumentos de terceros.

Relés de estado sólido

Cantidad

• Hasta 3 relés.

Rango de setpoint absoluto

• 5 × 10⁻⁶ a 1333 mbar.
• 3,75 × 10⁻⁶ a 1000 Torr.

Rango referido a atmósfera

• −1100 a +500 mbar.
• −770 a +375 Torr.

Capacidad de contactos

• 50 V.
• 100 mA AC/DC.

Vida útil

• Sin desgaste mecánico (estado sólido).

Comunicaciones

Interfaces disponibles

• RS-232.
• RS-485.

Funciones

• Diagnóstico.
• Mantenimiento predictivo.
• Configuración de setpoints.
• Escalado de salida analógica.
• Adquisición de datos en tiempo real.
• Calibración y configuración.

Alimentación

Tensión

• 12 a 30 Vdc.

Consumo máximo

• 350 mW.

Protecciones

• Protección contra inversión de polaridad.
• Protección contra sobretensión.
• Fusible térmico rearmable de 100 mA.

Condiciones ambientales

Temperatura ambiente

• −20 a +50 °C.

Temperatura del medio

• −20 a +50 °C.

Almacenamiento

• −20 a +50 °C.

Temperatura de horneado (sin operación)

• +80 °C.

Humedad

• 98 % sin condensación.

Protección

• IP40.

Posición de montaje

• Cualquier orientación.

Presión máxima admisible

• 4 bar absolutos.

Materiales de construcción

Carcasa

• Acero inoxidable 304L.
• Aluminio 6061.

Conexión al proceso

• Acero inoxidable 304L.

Materiales en contacto con vacío

• Acero inoxidable 304.
• Kovar.
• Vidrio.
• Silicio.
• Níquel.
• Aluminio.
• SiO₂.
• Si₃N₄.
• Al₂O₃.
• Oro.
• Viton.
• Resina epoxi de baja desgasificación.

Estanqueidad

• Fuga inferior a 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s.

Conexiones de proceso disponibles

• DN16KF.
• DN25KF.
• NPT 1/8″.
• VCR4.
• DN16KF extendido.
• DN16KF con baffle liviano.
• DN16KF con baffle reforzado.
• DN25KF con baffle liviano.
• DN25KF con baffle reforzado.

Conectores eléctricos

Opciones disponibles:

• D-Sub 9 pines.
• HD D-Sub 15 pines.
• HD D-Sub 15 pines con doble salida analógica.
• Hirschmann 6 pines.
• RJ45 / FCC68 de 8 pines.

Certificaciones

• UL Recognized.
• CSA Certified.
• EN/IEC 60950-1.
• EMC Directive 2014/30/EU.
• RoHS EU 2015/863.

Aplicaciones típicas

• Sistemas de vacío industrial.
• Equipos de deposición física (PVD).
• Hornos de vacío.
• Equipos de proceso de semiconductores.
• Cámaras de vacío con cambios frecuentes de composición gaseosa.
• Sistemas que requieren medición desde alto vacío hasta presión atmosférica.