El BVT100 VersaTorr® es un vacuómetro de amplio rango basado en tecnología MEMS Pirani y MEMS Piezo, diseñado para medición de vacío desde presión atmosférica hasta alto vacío mediante compensación activa de temperatura y procesamiento digital avanzado.
Principio de medición
El instrumento utiliza tres modos de medición combinados:
| Tecnología | Rango de medición |
|---|
| MEMS Pirani (conductividad térmica) | 7,5 × 10⁻⁷ a 1,125 Torr |
| Combinación MEMS Pirani / Piezo | 1,125 a 1,5 Torr |
| MEMS Piezo resistivo de diafragma | 1,5 a 1000 Torr |
Permite medición continua en un rango total de 9 décadas de vacío.
Rango de medición
- Rango total: 7,5 × 10⁻⁷ a 1000 Torr.
- Medición independiente del gas entre:
Exactitud
| Rango de presión | Exactitud |
|---|
| 7,5 × 10⁻⁶ a 7,49 × 10⁻⁵ Torr | ±25 % de la lectura |
| 7,5 × 10⁻⁵ a 7,49 Torr | ±5 % de la lectura |
| 7,5 a 74,9 Torr | ±1 % de la lectura |
| 75 a 599 Torr | ±0,5 % de la lectura |
| 600 a 824 Torr | ±0,25 % de la lectura |
| 825 a 1000 Torr | ±0,5 % de la lectura |
Histéresis
| Rango | Histéresis |
|---|
| 7,5 × 10⁻⁴ a 7,5 Torr | 1 % |
| 7,5 a 900 Torr | 0,1 % |
Tiempo de respuesta
Sensor de temperatura integrado
Rango
Exactitud
Compensación térmica
- Activa entre 10 °C y 50 °C.
Salidas analógicas
Salida estándar
- 0,5 a 9,5 Vdc.
- Escala de 1 V por década de vacío.
Resolución
Frecuencia de actualización
Opciones de escalado
El equipo permite configurar distintas curvas de salida para emular vacuómetros de otros fabricantes y manómetros capacitivos.
Comunicación digital
Interfaces disponibles:
Funciones:
- Programación.
- Diagnóstico.
- Adquisición de datos.
- Mantenimiento predictivo.
Relés de estado sólido
Cantidad
- Hasta 3 relés programables.
Rango de consigna absoluta
Rango relativo a presión atmosférica
Capacidad de contactos
Alimentación eléctrica
Tensión de alimentación
Consumo máximo
Protecciones
- Protección contra inversión de polaridad.
- Protección contra sobretensión.
- Fusible térmico autorearmable de 100 mA.
Materiales en contacto con vacío
- Acero inoxidable 304.
- Kovar.
- Vidrio.
- Silicio.
- Níquel.
- Aluminio.
- SiO₂.
- Si₃N₄.
- Oro.
- Viton.
- Resinas epoxi de baja desgasificación.
- Soldaduras especiales.
Conexiones de proceso
Opciones disponibles:
- DN16KF.
- DN25KF.
- NPT 1/8″.
- VCR4F.
- VCR8F.
- Versiones con deflectores (baffles) livianos o reforzados.
Condiciones ambientales
Temperatura ambiente de operación
Temperatura de horneado (sin operación)
Humedad
Sobrepresión admisible
Grado de protección
Orientación de montaje
Conectividad eléctrica
Opciones de conectores:
- D-Sub macho de 9 pines.
- HD D-Sub macho de 15 pines.
- HD D-Sub de 15 pines con doble salida analógica.
- Hirschmann de 6 pines.
- RJ45 (8P8C) de 8 pines.
Certificaciones
- UL Recognized.
- CSA Certified.
- EN/IEC 60950-1.
- CE (EMC 2014/30/EU).
- RoHS (EU 2015/863).
Aplicaciones típicas
- Espectrometría de masas.
- Microscopía electrónica SEM.
- Tratamientos térmicos en hornos de vacío.
- Sistemas de recubrimiento PVD.
- Equipos de refrigeración.
- Equipos de fabricación de semiconductores.
- Sistemas de vacío industrial y laboratorio.
