El Brooks GF120xHT es un controlador o medidor de caudal másico térmico diseñado para aplicaciones de alta temperatura, específicamente para la medición y control de vapores provenientes de precursores líquidos o sólidos utilizados en procesos de semiconductores.

Su principal característica es la capacidad de operar con el módulo de flujo a temperaturas de hasta 150 °C, manteniendo la electrónica separada y montada remotamente en una zona con temperatura máxima de 50 °C.

La electrónica remota puede instalarse sobre riel DIN y conectarse al módulo de flujo mediante cables estándar de:

• 3 ft (0,9 m)
• 8 ft (2,4 m)
• 16,5 ft (5 m)

Características principales

Diseño para alta temperatura

• Operación continua hasta 150 °C.
• Diseñado para transporte y control de vapor de precursores líquidos.
• Electrónica remota para proteger componentes electrónicos de altas temperaturas.
• Compatible con actualizaciones de instalaciones basadas en equipos Brooks Serie 9861.

Sensor térmico

• Sensor resistente a la corrosión en Hastelloy C-22.
• Alta estabilidad a largo plazo.
• Adecuado para gases y vapores corrosivos utilizados en la fabricación de semiconductores.

Calibración

• Calibración realizada según las condiciones reales del proceso del cliente.
• Ajuste específico de temperatura y presión de operación.
• Calibrable para presiones de entrada entre 75 y 1500 Torr.

Diagnóstico

• Puerto de servicio independiente.
• Diagnóstico avanzado accesible al usuario.
• Monitoreo continuo del estado del instrumento.

Especificaciones de desempeño

Coeficientes térmicos

• Span: 0,05 % FS por °C.
• Cero: 0,005 % FS por °C.

Estas especificaciones son válidas dentro de ±10 °C respecto de la temperatura de calibración.

Condiciones de operación

Temperatura

Módulo de flujo

• 45 °C a 150 °C.

Electrónica remota

• Máximo 50 °C.

Presión diferencial

• 33 a 860 sccm: 7-45 psid.
• 861 a 5000 sccm: 10-45 psid.

Presiones máximas

Hermeticidad

• Fuga externa: 1 × 10⁻¹⁰ atm·cc/s He.

Construcción mecánica

Configuración

• Controlador con válvula normalmente cerrada (NC).
• Versión medidor sin válvula (MFM).

Materiales en contacto con el proceso

• 316L VIM/VAR.
• Acero inoxidable 316L.
• Acero inoxidable 304.
• Hastelloy C-22.
• KM-45.

Cumple requisitos SEMI F20 UHP.

Terminación superficial

• 5 µin Ra.

Pantalla y diagnóstico

Indicadores de estado

RS485 / Analógico / DeviceNet

• Estado general del MFC.
• Estado de red.

EtherCAT

• Run.
• Error.
• Alimentación.
• Estado de red.

Alarmas

RS485 / Analógico / DeviceNet

• Estado de válvula.
• Interrupción de comunicaciones.

EtherCAT

Además de las anteriores:

• Temperatura alta.
• Temperatura baja.
• Presión alta.
• Presión baja.
• Sobretensión o caída de alimentación.

Pantalla

• LCD integrada montada en la parte superior.

Variables visualizadas

• Caudal (%).
• Temperatura (°C).
• Presión (psia o kPa).

Resolución

• 0,1 unidades.

Distancia de visualización

• Hasta 10 pies (3 m).

Comunicaciones

Protocolos disponibles:

• RS485.
• DeviceNet.
• EtherCAT.

Puerto de diagnóstico

• RS485 mediante jack de 2,5 mm.
• Micro-USB según versión.

Alimentación eléctrica

DeviceNet

• Tensión: 11 a 25 Vdc.
• Corriente máxima: 550 mA.
• Corriente típica a 24 Vdc: 300 mA.

RS485 / Analógico

• 15 Vdc ±10 % o 24 Vdc ±10 %.
• Potencia máxima: 6 W.

EtherCAT

• Alimentación: 18 a 30 Vdc.
• Corriente máxima: 330 mA.
• Corriente típica a 24 Vdc: 300 mA.

Conexiones disponibles

Analógico / RS485

• Conector Sub-D de 9 pines.

DeviceNet

• Conector M12 de 5 pines.

EtherCAT

• Alimentación mediante conector M8 de 5 pines.
• Comunicación mediante doble RJ45.

Configuraciones mecánicas disponibles

El GF120xHT puede suministrarse con diferentes conexiones de proceso:

VCR

• VX: cuerpo 1½», VCR macho 1/4″.
• VS: cuerpo 1⅛», VCR macho 1/4″.

C-Seal

• CX: 92 mm.
• LX: 92 mm con Poke Yoke.

W-Seal

• WX: 92 mm.
• BX: 92 mm en cuerpo de 1½».

Configuración de modelo

Parámetros configurables:

• Controlador o medidor.
• Gas específico.
• Rango de caudal.
• Tipo de conexión mecánica.
• Condición de salida (atmósfera o vacío).
• Protocolo de comunicación.
• Auto Shut-Off opcional.
• Temperatura de operación seleccionable entre 45 °C y 150 °C en incrementos de 5 °C.
• Longitud del cable entre módulo de flujo y electrónica:
  • 3 ft.
  • 8 ft.
  • 16,5 ft.

Aplicaciones típicas

• Vaporización de precursores líquidos para semiconductores.
• Sistemas de distribución de vapor calentado.
• Procesos ALD.
• CVD.
• MOCVD.
• Entornos de ultra alta pureza (UHP).
• Procesos que requieren calentamiento de líneas hasta 150 °C.