Los modelos 5850EMH y 5851EMH son controladores térmicos de caudal másico para gases con sellado metálico, diseñados para aplicaciones de alta temperatura y alta pureza. Se utilizan especialmente en procesos críticos de suministro de precursores de silicio y dopantes para la fabricación de fibra óptica.
Características principales
- Sellado totalmente metálico para máxima integridad de fuga.
- Construcción libre de partículas.
- Acero inoxidable 316L VAR de alta pureza.
- Válvula normalmente cerrada como configuración estándar.
- Opción de válvula normalmente abierta.
- Función de apertura/cierre forzado de válvula mediante señal eléctrica.
- Función TTL para cierre remoto de válvula.
- Puertos para verificación de fugas con helio.
- Amplio rango de operación en alta temperatura.
Modelos disponibles
5850EMH
Controlador para bajos caudales:
- Rango de flujo: 0,003 a 30 lpm equivalentes de N₂.
5851EMH
Controlador para mayores caudales:
- Rango de flujo: 10 a 100 lpm equivalentes de N₂.
Prestaciones de medición y control
Exactitud
- ±1 % del fondo de escala.
Repetibilidad
Linealidad
- Incluida dentro de la especificación de exactitud.
Rango de control
- 5 % a 100 % del fondo de escala.
Tiempo de respuesta
- Menor a 3 segundos para un cambio de consigna de 0 a 100 %, estabilizando dentro de ±2 % del valor final.
Condiciones de operación
Temperatura de funcionamiento
Temperaturas de calibración disponibles
- 85 °C
- 90 °C
- 95 °C
- 100 °C
- 105 °C
Presión máxima de trabajo
Presión diferencial de operación
- 50 a 350 kPa.
- Equivalente a 7 a 50 psid.
Integridad de fuga
- Fuga máxima de:
- 1 × 10⁻¹¹ Pa·m³/s
- Equivalente a 1 × 10⁻¹⁰ atm·cc/s de helio.
Construcción mecánica
Materiales en contacto con el gas
- Acero inoxidable 316L.
- Acero inoxidable 316L VAR.
- Aceros inoxidables ferríticos de alta aleación.
Material del asiento de válvula
Configuración de válvula
- Normalmente cerrada.
- Normalmente abierta.
Conexiones de proceso
5850EMH
5851EMH
Especificaciones eléctricas
Conexión eléctrica
- Conector D-Sub macho de 15 pines.
Señal de entrada
- 0 a 5 Vcc proporcional al caudal solicitado.
Señal de salida
- 0 a 5 Vcc proporcional al caudal medido.
Alimentación
- ±15 Vcc.
- Corriente máxima: 350 mA.
Opciones de configuración
El equipo puede configurarse según:
- Modelo de bajo o alto caudal.
- Tipo de válvula (normalmente cerrada o normalmente abierta).
- Temperatura de calibración.
- Longitud de cable:
- 2 m
- 3 m
- 5 m (solo para calibración a 85 °C)
- Orientación de montaje:
- Horizontal base abajo.
- Horizontal lateral.
- Horizontal invertida.
- Vertical con entrada hacia arriba.
- Vertical con entrada hacia abajo.
- Restrictores y orificios adaptados a la aplicación.
Resumen de especificaciones principales
| Parámetro | 5850EMH | 5851EMH |
|---|
| Rango de caudal | 0,003 a 30 lpm N₂ | 10 a 100 lpm N₂ |
| Exactitud | ±1 % FS | ±1 % FS |
| Repetibilidad | ±0,25 % lectura | ±0,25 % lectura |
| Rango de control | 5-100 % FS | 5-100 % FS |
| Tiempo de respuesta | < 3 s | < 3 s |
| Temperatura de operación | 85-105 °C | 85-105 °C |
| Presión máxima | 145 psig | 145 psig |
| Presión diferencial | 7-50 psid | 7-50 psid |
| Integridad de fuga | 1×10⁻¹⁰ atm·cc/s He | 1×10⁻¹⁰ atm·cc/s He |
| Señales de E/S | 0-5 Vcc | 0-5 Vcc |
| Alimentación | ±15 Vcc | ±15 Vcc |
