El SLA7840 es un controlador digital de alta pureza con sellado metálico, diseñado para controlar presión utilizando la señal de un transductor remoto y, simultáneamente, medir caudal másico. El equipo emplea electrónica PID ajustable y una válvula de control para mantener una presión de consigna determinada, además de proporcionar una señal de salida proporcional al caudal másico.
Características principales
- Control de presión mediante transductor remoto.
- Medición simultánea de caudal másico.
- Posibilidad de configuración como controlador de caudal másico para tareas de calibración o ensayo.
- Diseño compacto de 1-1/8″.
- Construcción de alta pureza con sellado metálico.
- Válvula Co-Planar de alto desempeño.
- Electrónica digital de alta estabilidad.
- Capacidad multigas y multirrango.
- Almacenamiento de hasta 10 calibraciones diferentes.
Tecnología de válvula
La válvula Co-Planar incorpora:
- Alta repetibilidad.
- Mayor estabilidad de control.
- Respuesta rápida.
- Menor sensibilidad a variaciones de presión del proceso.
- Amplio rango de control.
- Menor tasa de fugas internas que diseños convencionales.
- Mayor estabilidad operativa a largo plazo.
Capacidades de comunicación
Versión analógica
- Señales de setpoint de 0 a 5 VDC.
- Señales de salida de flujo de 0 a 5 VDC.
- Alimentación mediante +15 VDC.
- Señal independiente para control forzado de válvula.
- Compatible con electrónica secundaria Brooks Serie 0254.
Versión DeviceNet
- Comunicación digital de hasta 500 kbaud.
- Certificación ODVA.
- Acceso a parámetros de:
- Sensor.
- Válvula.
- Calibraciones.
- Diagnósticos.
- Ajustes de control.
- Soporte para:
- Poll I/O.
- Cyclic Messaging.
- Change of State.
- Mensajería explícita.
Rango de caudal
- Desde 3 sccm hasta 30.000 sccm equivalentes de N₂.
Desempeño de control de flujo
Rango de control
Exactitud
- ±1 % de la lectura incluyendo linealidad entre 20 % y 100 % del fondo de escala.
- ±0,2 % del fondo de escala por debajo del 20 % del rango.
Repetibilidad
Sensibilidad térmica
- Cero: menor a 0,035 % F.S. por °C.
- Span: menor a 0,1 % de la lectura por °C.
Tiempo de estabilización
- Menor a 1 segundo para un cambio de 0 a 100 % del setpoint.
Desempeño de control de presión
Rango de presión
- Dependiente del transductor externo.
- Máximo 500 psig.
Entrada de sensor externo
- Compatible con transductores de 0 a 10 VDC.
Rango de control
Tiempo de respuesta
- Inferior a 1 segundo para cambios del 20 % al 100 % del setpoint.
- Sobreimpulso máximo típico de 2 %.
Condiciones de operación
Presión máxima
Temperatura ambiente
- Operación: 0 °C a 60 °C.
- Almacenamiento: -25 °C a 100 °C.
Temperatura del fluido
Integridad de fugas
- Menor a 1 × 10⁻¹⁰ atm·cc/s de helio.
Materiales de construcción
Partes húmedas
- Acero inoxidable 316L VAR.
- Acero inoxidable 316L.
- Aceros inoxidables ferríticos de alta aleación.
Sellos
Asiento de válvula
Acabado superficial
Conexiones de proceso
Opciones disponibles:
- 1/4″ VCR macho.
- C-Seal.
- CS-Seal.
- W-Seal.
Especificaciones eléctricas
Alimentación
Versión analógica
Versión DeviceNet
Consumo
Versión analógica
- Típico: 3,6 W.
- Máximo: 4,0 W.
Versión DeviceNet
- Típico: 6,9 W.
- Máximo: 7,6 W.
Entradas y salidas analógicas
Setpoint
- 0 a 5 VDC.
- Admite hasta 5,5 VDC.
Salida de flujo
- 0 a 5 VDC.
- Capacidad hasta 5,5 VDC.
Referencia
- Salida de referencia de 5 V para control mediante potenciómetro.
- Exactitud ±0,2 %.
Función de control de válvula
Valve Override
- Sin conexión: operación automática.
- ≥ 5 VDC: válvula completamente abierta.
- ≤ 0 VDC: válvula completamente cerrada.
Selección de modo
- Abierto: control de caudal.
- Conectado a tierra: control de presión.
Entrada de sensor remoto
- 0 a 10 VDC.
- Resistencia de entrada nominal: 480 kΩ.
Opciones operativas
- Selección entre diferentes gases y rangos.
- Almacenamiento interno de hasta diez calibraciones.
- Sustitución directa de controladores analógicos existentes.
- Integración en sistemas de alta pureza para semiconductores y procesos críticos.
