Sistema de vaporización inyección de vapor serie VDM300

El Brooks VDM300 es un módulo autónomo de generación y control de vapor diseñado para el suministro preciso de vapor de agua desionizada (DI Water) de ultra alta pureza, sin utilización de gas portador. Está orientado a aplicaciones de procesos avanzados de semiconductores, stripping y pasivación post-etch.

Principio de funcionamiento

• Generación directa de vapor de agua desionizada de ultra alta pureza.
• No requiere gas portador.
• Medición y control basados en tecnología de caudal másico térmico.
• Generación de vapor en estado no sobrecalentado.
• Cámara de generación fabricada en titanio pasivado para minimizar corrosión y contaminación.
• Diseño optimizado para drenaje y purga.

Características principales

• Medición directa de vapor de agua.
• Alta precisión de control de caudal.
• Operación a baja temperatura.
• Bajo consumo energético respecto a sistemas de evaporación flash.
• Alta tolerancia a variaciones de presión de suministro de agua.
• Funciones de diagnóstico integradas.
• Registro de datos mediante puerto de servicio USB.
• Interfaz gráfica de usuario integrada.

Rango de operación

Caudal nominal

• 3000 sccm de vapor de agua.

Relación de control (Turndown Ratio)

• 20:1.

Desempeño

Tiempo de respuesta

• ≤ 2 segundos.
• Criterio: ±2 % del valor de consigna.

Exactitud

• ±1,0 % del setpoint para valores superiores al 10 % del fondo de escala.
• ±0,2 % del fondo de escala para setpoints entre 5 % y 10 % del fondo de escala.

Linealidad

• ±0,5 % del fondo de escala.

Repetibilidad

• ±0,2 % del fondo de escala.

Coeficiente térmico

• 0,05 % F.S./°C.
• Aplicable a cero y span.

Cierre de válvula

• Menor a 0,5 % del fondo de escala para vapor de agua.

Comunicaciones

Interfaces disponibles

• Analógica (estándar).
• EtherCAT (opcional).

Puerto de diagnóstico

• Micro USB.

Conectividad física

• Conector D-Sub de 15 pines.
• Dos puertos RJ45.

Señales de control

Entradas

• Setpoint de caudal:
  • 0 a 5 Vdc.
• Comando de arranque.
• Comando de drenaje.

Salidas

• Señal de caudal:
  • 0 a 5 Vdc.
• Señal de estado «Ready to Use».

Alimentación eléctrica

Alimentación DC

• ±15 Vdc ±5 %.
• Corriente: 1,2 A.

Alimentación AC

• 208 a 230 Vac.
• 50/60 Hz.
• Potencia nominal: 290 W.

Condiciones de proceso

Presión máxima de salida

• ≤ 200 Torr.

Presión de suministro de agua DI

• 10 a 40 psig.
• Recomendada: 20 psig.

Calidad del agua

• Ultra alta pureza (UHP).
• Resistividad ≥ 18 MΩ·cm.

Presión de nitrógeno de purga

• 10 a 40 psig.
• Recomendada: 20 psig.

Condiciones ambientales

Temperatura ambiente

• 15 °C a 45 °C.

Humedad relativa

• 0 a 95 %.
• Sin condensación.

Características mecánicas

Peso

• Seco: 15 lb (6,8 kg aprox.).
• En operación (húmedo): 16 lb (7,3 kg aprox.).

Orientación de montaje

• Vertical.
• Entrada de fluido orientada hacia abajo.

Conexiones de proceso

Entrada de agua

Opciones:

• 1/4″ VCR macho.
• 1/4″ Tube Compression.

Salida de vapor

• 3/8″ – 1/2″ VCR macho.

Opciones de configuración

Alarmas

• Con alarma de bajo nivel.
• Sin alarma de bajo nivel.

Montaje

• Backplate estándar.

Certificaciones y cumplimiento

Compatibilidad electromagnética

• EMC Directive 2014/30/EU.
• EN 61326-1:2013.

Seguridad eléctrica

• Low Voltage Directive 2014/35/EU.
• EN 61010-1:2010.

Ambiental

• RoHS 2011/65/EU.
• REACH EC 1907/2006.

Comunicaciones industriales

• SEMI E54.20-1108 para EtherCAT.

Aplicaciones típicas

• Procesos de stripping.
• Pasivación post-metal etch.
• Fabricación de semiconductores.
• Sistemas que requieren vapor de agua DI de alta pureza.
• Procesos con requerimientos estrictos de control de vapor y baja contaminación.