La Serie 9861 está compuesta por controladores y medidores térmicos de caudal másico diseñados para aplicaciones de alta temperatura, especialmente para el suministro de precursores condensables y dopantes utilizados en la industria de semiconductores y fabricación de fibras ópticas.
El equipo utiliza una trayectoria de flujo metálica de ultra alta pureza, adecuada para el manejo de gases y vapores de proceso, manteniendo elevados niveles de integridad de fugas y compatibilidad química.
Características principales
- Controladores y medidores másicos térmicos para aplicaciones de alta temperatura.
- Diseño para gases condensables y precursores de proceso.
- Trayectoria de flujo de ultra alta pureza.
- Sensor patentado IsoSensor™ de alta estabilidad.
- Electrónica remota con comunicaciones analógicas y digitales.
- Válvula de control solenoide sin diafragma.
- Amplio rango dinámico de control.
- Diseño orientado a reducir recalibraciones y ajustes de cero frecuentes.
Sensor de medición
El sensor IsoSensor™ fue desarrollado para operar en ambientes con temperaturas elevadas, incluyendo:
- Líneas calefaccionadas.
- Sistemas de horneado.
- Gabinetes de gases con control térmico.
Características del sensor:
- Deriva extremadamente baja.
- Alta estabilidad a largo plazo.
- Menor necesidad de recalibración.
- Menores costos de mantenimiento.
Interfaces y comunicaciones
La electrónica remota incorpora:
- Conector analógico tipo card edge de 20 pines.
- Conector tipo D de 9 o 15 pines.
- Comunicación digital RS-485.
Estas interfaces facilitan:
- Integración con sistemas existentes.
- Sustitución de equipos previos.
- Estandarización de inventario.
Válvula de control
Los modelos controladores incorporan una válvula solenoide metálica sin diafragma.
Características:
- Amplio rango de control dinámico.
- Alta precisión de regulación.
- Ensayos superiores a 8 millones de ciclos sin degradación de desempeño.
- Configuración normalmente cerrada.
Desempeño metrológico
Tiempo de estabilización
- Arranque rápido: ≤ 1 segundo.
- Soft Start: incremento lineal del 20 % por segundo, alcanzando el 100 % en aproximadamente 5 segundos.
Precisión
- Entre 35 % y 100 % del fondo de escala: ±1 % del setpoint.
- Por debajo del 35 % del fondo de escala: ±0,35 % del fondo de escala.
Repetibilidad
- ±0,15 % del fondo de escala.
Linealidad
- ±0,5 % del fondo de escala.
Coeficiente de presión de entrada
Coeficiente de temperatura ambiente
- Cero: 0,05 % del fondo de escala por °C.
- Span: 0,1 % del fondo de escala por °C.
Integridad de fuga
- 1 × 10⁻¹⁰ atm·cc/s de helio.
Deriva de cero
- ≤ 0,6 % por año sin función de auto cero.
Sensibilidad térmica y de orientación
- Menor a 0,1 % del fondo de escala.
Rangos operativos
Caudales estándar
- Desde 3 sccm hasta 10 slm equivalentes de N₂.
Rango de control
- 2 % a 100 % del fondo de escala.
Fuga de válvula
- ≤ 1 % del fondo de escala.
Gases compatibles
Temperatura ambiente
Presión máxima de operación
Presión diferencial típica
- 1,33 a 350 kPa.
- Equivalente a 10 torr hasta 50 psia.
Tiempo de calentamiento
Características eléctricas
Entrada de setpoint
- 0 a 5 VDC proporcional al caudal requerido.
Salida de monitoreo
- 0 a 5 VDC proporcional al caudal medido.
Comunicación digital
- RS-485 mediante puertos RJ11.
Control de válvula
- Entrada TTL para cierre externo.
- Desconexión automática cuando la consigna es inferior al 2 % del fondo de escala.
Alimentación
Controlador:
- +15 VDC, 160 mA máximo.
- −15 VDC, 160 mA máximo.
Medidor:
- +15 VDC, 50 mA máximo.
- −15 VDC, 50 mA máximo.
Consumo máximo
Construcción mecánica
Conexiones
Acabado superficial
Materiales en contacto con el fluido
- Acero inoxidable 316L.
- Aleación KM-45.
- Acero inoxidable 304.
- Aleación 7MO+.
Posición de la válvula
Peso
Opciones adicionales
- Función de auto cero programable.
- Sistema opcional de amortiguación de presión de entrada.
- Longitudes de cable remotas de 3, 6,7, 8 y 16,5 pies.
- Configuraciones específicas para distintas aplicaciones y gases de proceso.
La Serie 9861 está orientada al control preciso de caudal másico en aplicaciones de alta pureza y alta temperatura, combinando baja deriva, elevada precisión y compatibilidad con gases condensables utilizados en procesos críticos industriales.
