El HALO LP H₂O es un analizador de humedad trazas diseñado para la medición de vapor de agua (H₂O) en gases hidruros y gases de alta pureza. Está optimizado para aplicaciones en amoníaco (NH₃), fosfina (PH₃), arsina (AsH₃) y otras matrices gaseosas utilizadas en procesos industriales y de semiconductores.
Características principales
- Detección de humedad en niveles de partes por billón (ppb).
- Medición absoluta sin necesidad de gases de calibración.
- Rango dinámico superior a cuatro órdenes de magnitud.
- Bajo costo operativo y reducido mantenimiento.
- Tecnología libre de gases de calibración externos.
- Diseño compacto para integración sencilla en sistemas de monitoreo.
- Alarmas programables por el usuario para detección inmediata de eventos de alta concentración.
Desempeño analítico
- Precisión: ±1 % de la lectura o un tercio del límite de detección, el valor que resulte mayor.
- Exactitud: ±4 % de la lectura o el límite de detección, el valor que resulte mayor.
- Tiempo de respuesta: menor a 3 minutos para alcanzar el 95 % del valor final.
- Temperatura de operación: 10 °C a 40 °C.
- Humedad relativa: 30 % a 80 % sin condensación.
- Temperatura de almacenamiento: −10 °C a 50 °C.
Rangos de medición y sensibilidad
Modelo estándar
En amoníaco (NH₃)
- Rango: 0 a 20 ppm H₂O.
- Límite de detección: 9 ppb.
- Precisión a cero: 3 ppb.
En fosfina (PH₃)
- Rango: 0 a 10 ppm H₂O.
- Límite de detección: 9 ppb.
- Precisión a cero: 3 ppb.
En nitrógeno (N₂)
- Rango: 0 a 6 ppm H₂O.
- Límite de detección: 1,0 ppb.
- Precisión a cero: 0,3 ppb.
En argón (Ar)
- Rango: 0 a 4 ppm H₂O.
- Límite de detección: 0,8 ppb.
- Precisión a cero: 0,25 ppb.
En hidrógeno (H₂)
- Rango: 0 a 6 ppm H₂O.
- Límite de detección: 1,0 ppb.
- Precisión a cero: 0,3 ppb.
En helio (He)
- Rango: 0 a 3 ppm H₂O.
- Límite de detección: 0,6 ppb.
- Precisión a cero: 0,2 ppb.
En óxido nítrico (NO)
- Rango: 0 a 100 ppm H₂O.
- Límite de detección: 16 ppb.
- Precisión a cero: 6 ppb.
En germano (GeH₄)
- Rango: 0 a 18 ppm H₂O.
- Límite de detección: 20 ppb.
- Precisión a cero: 7 ppb.
Modelo para arsina
En arsina (AsH₃)
- Rango: 0 a 10 ppm H₂O.
- Límite de detección: 5 ppb.
- Precisión a cero: 2 ppb.
En nitrógeno
- Rango: 0 a 6 ppm H₂O.
- Límite de detección: 1,0 ppb.
- Precisión a cero: 0,3 ppb.
En argón
- Rango: 0 a 4 ppm H₂O.
- Límite de detección: 1,0 ppb.
- Precisión a cero: 0,3 ppb.
En hidrógeno
- Rango: 0 a 6 ppm H₂O.
- Límite de detección: 1,0 ppb.
- Precisión a cero: 0,3 ppb.
En helio
- Rango: 0 a 3 ppm H₂O.
- Límite de detección: 1,0 ppb.
- Precisión a cero: 0,3 ppb.
Sistema de manejo de gases
- Partes en contacto con la muestra fabricadas en acero inoxidable 316L.
- Opción disponible para gases corrosivos.
- Acabado superficial de 10 Ra.
- Conexiones de entrada y salida VCR macho de 1/4″.
- Hermeticidad verificada hasta 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s.
- Presión de entrada: 10 a 125 psig (1,7 a 9,6 bar absolutos).
- Presión de salida inferior a 10 Torr (13 mbar).
- Caudal de muestra de hasta 1,0 slpm.
- Compatible con NH₃, PH₃, AsH₃ y matrices inertes.
- Temperatura máxima de muestra: 60 °C.
- Requiere fuente de vacío externa.
Interfaces y comunicaciones
- Pantalla táctil LCD color de 5,7″.
- Ethernet 10/100 Base-T.
- USB.
- RS-232.
- RS-485.
- Modbus TCP opcional.
- Salida analógica aislada de 4-20 mA.
- Almacenamiento de datos en memoria interna o dispositivos flash externos.
Sistema de alarmas
- Dos relés de alarma configurables por el usuario.
- Un relé dedicado a falla del sistema.
Características mecánicas
- Dimensiones del sensor: 222 × 218 × 670 mm.
- Rack opcional para hasta dos sensores: 222 × 483 × 670 mm.
- Peso aproximado: 15 kg.
Requerimientos eléctricos
- Alimentación: 90 a 240 VAC, 50/60 Hz.
- Consumo máximo: 40 W, sin incluir la bomba de vacío.
- Certificación CE.
El equipo está orientado al monitoreo continuo de humedad ultratraza en gases hidruros y gases de alta pureza, combinando alta sensibilidad, amplio rango de medición y rápida respuesta para aplicaciones críticas de proceso.
